산업통상부 공고 제2026–222호

2026년도 반도체 가스·챔버 기반조성 신규사업

시행계획 통합 공고

2026년도 반도체 가스 · 챔버 분야 신규 기반조성 사업을 아래와 같이 공고하오니 참여를 희망하는 기관은 절차에 따라 신청하여 주시기 바랍니다.

2026년 3월 24일

산업통상부장관

Ⅰ	사업개요

□ 사업목적

ㅇ 최선단 반도체 공정에는 고순도·친환경 반도체 특수가스와 극한 공정 환경을 견디는 반도체 챔버의 안정적 확보가 필수적

ㅇ 가스 및 챔버 소재·부품 제조 및 실증 데이터 지원 인프라를 구축하여, 국내 기업의 신뢰성 검증기간 단축 및 글로벌 밸류체인으로의 편입 견인

□ 사업내용

① (반도체 가스 성능·안전 평가지원센터 구축) 유독성이 강한 증착·식각 공정에서 사용되는 특수가스 중, 국산화 필요한 고성능 가스 및 친환경 대체 가스 대상의 기초성능 및 안정성 평가 기반 구축

* 반도체 특수가스는 초미세·고집적 반도체 공정(증착, 식각 등)의 정밀도를 제어하고 최종 수율을 직결하는 핵심 소재

② (반도체 장비 챔버용 소재·부품 제조 및 테스트베드 구축) 양산 챔버와 유사한 극한 환경에서 챔버용 소재·부품의 배합부터 제조, 성능 검증까지의 지원 및 신뢰성데이터 제공 인프라 구축

* 챔버는 가혹한 화학 반응 속에서 웨이퍼 보호 및 장비 손상을 방지하는 공정 공간으로, 공정 수율 및 양산라인 가동률 유지를 위해 극한 환경에 내구성을 지니는 챔버 소재·부품의 안정적 확보 중요

Ⅱ	상세 지원내용

□ 지원분야

ㅇ (지원분야) 반도체 가스·챔버 분야 기반조성

ㅇ (공모방식) 지정공모

ㅇ (지원대상 과제) 2개 사업, 2개 과제(제안요청서(RFP) 참조)

구분	세부사업명	과제명
1	반도체 가스 성능·안전 평가지원센터 구축	반도체 가스 품질･안전 평가지원센터 구축
2	반도체 장비 챔버용 소재·부품 제조 및 테스트베드 구축	반도체 챔버용 핵심 소재·부품 제조공정 고도화 및 기술지원 플랫폼 구축

* 상세 내용은 과제별 제안요청서(RFP) 참조

ㅇ (지원규모) 과제별 제안요청서(RFP) 참조

* 연구개발기간 내 지원규모는 예산 현황 및 평가결과에 따라 변동될 수 있음

ㅇ (지원기간) 과제별 제안요청서(RFP) 참조

* 일괄협약(전체 연구개발기간에 대한 협약) 추진

□ 신청자격

ㅇ 주관연구개발기관 단독 또는 컨소시엄(과제별 제안요청서(RFP) 참조)

- (주관연구개발기관) 연구기관, 대학 등 비영리기관*

* 산업기술혁신촉진법 제19조 제2항에 의거한 연구기관, 대학, 그 밖에 대통령령으로 정하는 기관ㆍ단체

- (공동연구개발기관) 연구기관, 대학 등 비영리기관* 및 기업**

* 산업기술혁신촉진법 제19조 제2항에 의거한 연구기관, 대학, 그 밖에 대통령령으로 정하는 기관ㆍ단체

** 수요기업에 대하여는 정부지원연구개발비 지원 없이 연구개발과제에 참여 가능하며, 이 경우 기관부담연구개발비는 현물만 부담 가능

□ 연구개발비 지원기준 및 기술료 징수기준

구 분	내 용
지원방식	ㅇ 전체 연구개발기간에 대해 일괄협약 체결 ㅇ 정부지원연구개발비는 회계연도에 따라 연차별 지급 * 정부예산 사정에 따라 지급시기 조정 및 분할 지급될 수 있음
연구개발비	ㅇ 정부지원연구개발비는 건축비를 제외한 총연구개발비의 70% 이내에서 지원 (예시) 정부지원연구개발비가 100억원인 경우 기관부담연구개발비와 그 외 기관·단체·개인이 지원하는 연구개발비의 합계(현금·현물)가 43억원 이상이어야 함(100억원 / 143억원 = 70% 이내) * 산업기술혁신사업 공통 운영요령 제24조 및 25조 참조 * 정부지원연구개발비 인정기준은 산업기술혁신사업 기반조성 평가관리지침 별표4 참조 * 지방자치단체 부담하는 연구개발비 있을 시 현금·현물 납입확약서 제출 필수 ㅇ 기타 연구개발비 편성시 아래 규정 준수 * 산업기술혁신사업 공통 운영요령 제30조 및 별표5, 별표6, 별표7 * 산업기술혁신사업 기반조성사업 평가관리지침 제33조
통합 연구 시설‧장비비	ㅇ “연구시설ㆍ장비비 통합관리기관”으로 지정된 기관의 경우 수정직접비(직접비 현금 총액에서 국제공동연구개발비를 제외한 금액)의 5% 이내에서 통합연구시설ㆍ장비비 계상 가능 * 「국가연구개발사업 연구개발비 사용 기준」 제7장 (연구시설ㆍ장비비 사용의 특례) 및 산업기술혁신사업 공통 운영요령 제30조 제11항 참조
연구수당	ㅇ 사업 특성을 고려하여 연구수당은 수정인건비의 10% 이내로 산정 * 수정인건비 : 인건비(현물 포함) 및 학생인건비 포함, 연구근접지원인력 인건비 제외
간접비	ㅇ 사업 특성을 고려하여 수정직접비(직접비 현금 총액에서 국제공동연구개발비를 제외한 금액) 합계의 5% 이내로 산정
기술료	ㅇ 미징수
보안등급	ㅇ 일반과제

□ 추진체계

				산업통상부
				전문기관 (한국산업기술진흥원)						기획위원회
										연구개발과제평가단
				주관연구개발기관 (연구책임자)						운영위원회
										자체장비도입심의위원회
										···
	공동연구개발기관 1 (공동연구개발기관 1 책임자)					공동연구개발기관 2 (공동연구개발기관 2책임자)					공동연구개발기관 N (공동연구개발기관 N 책임자)

Ⅲ	지원제외 처리기준

□ 지원제외 처리기준

ㅇ 주관연구개발기관, 공동연구개발기관, 주관연구개발기관의 장, 공동연구개발기관의 장, 연구책임자가 접수 마감일 현재 국가연구개발사업에 참여제한을 받고 있는 경우

ㅇ 접수마감일 현재 연구개발기관(단, 비영리기관 및 공기업(공사)은 적용 예외), 연구개발기관의 장(단, 공직자윤리법 제3조의2에 따라 공직유관단체로 지정된 기관은 적용 예외), 연구책임자(공동연구책임자 제외)가 아래 사유에 해당하는 경우

※ 정부지원연구개발비를 지원받지 않는 기업(연구개발기관)에 대해서는 산업기술혁신사업기술개발평가관리지침 상 지원제외 처리기준을 일부 적용 또는 미적용할 수 있음

□ 다음의 경우는 지원대상에서 제외될 수 있음

ㅇ 신청과제가 해당 사업의 기본 목적에 부합되지 않은 경우

ㅇ 신청과제가 공고된 제안요청서(RFP)의 목표 및 내용에 부합하지 않는 경우

ㅇ 연구개발과제가 기지원된 연구개발과제와 동일하거나 유사한 경우

ㅇ 연구개발기관, 연구책임자 등이 접수마감일 현재 각종 의무사항(각종 보고서 제출, 기술료 납부, 기술료 납부계획서 제출, 정산금 또는 환수금 납부 등)을 불이행하고 있는 경우

ㅇ 연구책임자 및 참여연구자가 국가연구개발사업 총인건비 계상률 및 참여 과제수 기준을 만족하지 못하는 경우

* 신청과제의 연구책임자 또는 참여연구자가 총괄연구책임자로서(세부주관책임자 포함) 동시에 수행하는 국가연구개발사업 과제가 3개를 초과하거나 연구원으로서 동시에 수행하고 있는 과제가 5개를 초과하는 경우

* 신청과제의 연구책임자는 사업 공고시 안내한 협약 월을 기준으로 국가연구개발사업 과제(연구기관의 경우 기관 기본사업 포함)에 참여하는 비율을 포함하여 총 과제수행 총인건비계상률이 100%를 초과할 수 없음

* 참여연구자(연구책임자 및 공동연구책임자도 포함)의 총인건비계상률은 기관 기본사업(연구기관만 해당)에 참여하는 비율을 포함하여 100%를 초과할 수 없으며 신청 과제의 총인건비계상률은 10% 이상이어야 하며, 참여연구자가 동시에 수행하고 있는 연구개발과제가 5개를 초과하는 경우 참여연구자에서 제외할 수 있음.(다만 타사업 지원시에는 본 공고에 따른 지원과제를 동시에 수행하는 연구개발과제 수에서 제외 가능(산업기술혁신사업 공통 운영요령 제20조))

ㅇ 신청서류가 허위이거나 거짓인 경우, 신청과제가 접수기간 내 신청 필수서류를 제출하지 아니하였거나 제출양식을 준수하지 않은 경우 및 전산 업로드가 되어 있지 아니한 경우

* 기타 사전지원제외 기준은 「Ⅶ. 근거법령 및 규정」에 따름

※ 선정평가 이후 상기 사전지원제외 항목에 해당되는 항목이 확인된 경우, 해당과제 선정 취소 또는 협약을 해약할 수 있음

Ⅳ	평가절차 및 기준

□ 평가절차 및 일정

추진절차		시행기관		일정(안)
사업공고		산업통상부/한국산업기술진흥원		‘26. 3.24 ~ 4.23.
□
연구개발과제 접수 (전산접수)		신청기관 → 한국산업기술진흥원(K-PASS)		~ ‘26. 4.23.
□
사전검토 및 선정평가위원회 개최		한국산업기술진흥원(연구개발과제평가단)		‘26. 4∼5월 중
□
평가결과 확정		산업통상부		‘26. 5월 중
□
확정결과 안내 및 이의신청		한국산업기술진흥원 ↔ 선정기관		‘26. 5월 중
□
신규 연구개발과제 확정		산업통상부/한국산업기술진흥원 ↔ 선정기관		‘26. 5월 중
□
협약체결 및 정부지원 연구개발비 지급		한국산업기술진흥원 ↔ 선정기관		‘26. 5월 ∼

* 상기 일정은 진행 상황에 따라 변동 가능

□ 평가방법 및 기준

ㅇ (평가방법) 접수된 제출서류, 신청자격 등에 대한 사전검토 후 연구개발계획서 내용을 기반으로 발표평가 실시

- (사전검토) 전문기관(한국산업기술진흥원)은 신청기관 연구개발계획서 및 제출서류, 신청자격, 공고 내용과의 부합성 등을 검토

- (발표평가) 연구개발과제평가단은 신청기관의 제출서류 및 연구개발계획서를 중심으로 발표평가를 실시하며, 신청기관은 선정평가에 참석하여 대면 발표하고, 질의응답 진행

ㅇ (평가기준)

구분	평가항목	평가내용
사업목표 명확성 (20)	사업목표 명확성	ㅇ 목표 설정의 타당성 및 구체성, RFP 부합성 등
	추진전략 적정성	ㅇ 목표 달성을 위한 추진전략의 구체성 및 적정성 등
추진체계 및 보유 역량 (20)	추진체계 적절성	ㅇ 주관 및 공동 연구개발기관별 역할 및 협력체계 적정성
	기반구축 역량	ㅇ 전담조직 구성 및 전담인력 확보 등 주관 및 공동연구개발기관 운영계획의 적정성 ㅇ 전담인력의 전문성 ㅇ 사업추진을 위한 절차(인허가) 및 관련 법률 검토 등의 충실성 ㅇ 사업 수행 역량(센터 및 장비구축 등 기반조성사업)
사업내용 적정성 (40)	추진전략 적정성	ㅇ 연차별 추진전략 구체성 및 계획의 적정성 ㅇ 활용기업에 대한 수요조사 등 사전 기획의 충실도
	장비구축 타당성	ㅇ 연구시설ㆍ장비 구축계획 구체성(종류·사양, 장비 등) ㅇ 장비 구축 전용공간 확보 계획 적절성 ㅇ 구축될 연구장비의 활용성 ㅇ 수요기업과 연계·협력 방안의 적절성
	연구개발비 적절성	ㅇ 연구개발비 연차별 편성 및 운용계획의 적절성 ㅇ 기관부담금(정부지원연구개발비 외) 확보 계획의 구체성
성과확산 효과 (20)	사업지속 가능성	ㅇ 과제 완료 후 해당 센터의 지속 가능성 및 향후 활용성
	파급효과	ㅇ 연구기반 활용 수혜기업‧기관 수, 신규고용 증대 등 해당 산업 생태계에 미치는 효과

※ 평가계획 수립 시 평가 세부요소 조정 가능

Ⅴ	신청방법 및 제출안내

□ 신청방법 및 제출기한

구 분	내 용
접수기간	▪2026. 3.24. ∼ 2026. 4.23. 17:00
접 수 처	▪KIAT 과제관리시스템(www.k-pass.kr)에 온라인 등록 * 별도 오프라인 서류 제출 불가
서식교부	▪서식은 한국산업기술진흥원 홈페이지(www.kiat.or.kr) 사업공고에서 다운로드 가능 - 홈페이지 → 사업·자료 → 사업공고 → 동 사업 공고 선택
접수절차	① (통합회원가입) 연구책임자 및 연구개발기관이 KIAT 과제관리시스템에 등록되어 있는지 확인하고, 등록이 되어 있지 않는 경우 신규 회원 가입
	② (온라인 등록) 주관연구개발기관 로그인 → 과제신청 → 공고조회 → 동 사업공고 선택, 주관연구개발기관 연구책임자가 내용 입력
	③ (파일 업로드) 사업 공고에 첨부된 연구개발계획서 양식 등을 다운받아 해당 내용을 작성한 후, KIAT 과제관리시스템(www.k-pass.kr) 업로드 - 연구개발계획서는 HWP파일로 제출하되, 표지 하단에 인감 날인 스캔본을 HWP파일에 포함하여 제출 - 연구개발계획서 이외의 첨부서류는 작성 후 스캔하여 PDF파일로 제출
	④ (최종제출) 모든 서류 업로드 후 반드시 최종제출 버튼을 눌러서 신청완료해야 함 * 최종제출 버튼을 누른 후에는 수정이 불가하며, 접수증은 출력 후 보관
유의사항	① 마감일에는 전산장애로 인하여 등록이 지연되거나 장애가 발생할 수 있으니 반드시 시간적 여유를 갖고 준비 (마감시간에 작성 중인 경우도 접수 불가) ② 접수 마감일 16:59까지 ‘완료 및 제출’하지 않는 경우 접수 불가 ③ 온라인 등록시 과제 내용 및 연구개발비(단위)에 대한 오기가 없도록 주의 ④ 필수 입력사항을 공란 또는 허위로 작성하는 경우 사전 지원제외 처리 가능 ⑤ 전산등록한 연구책임자의 E-mail 및 휴대폰번호를 통해 평가일정 등의 안내가 실시되기 때문에 정확한 연락처 입력 필요 ※ 잘못된 담당자, 전화번호, 이메일 등을 기재하여 발생한 평가 안내, 결과 통보 등 미수신(연락 불능)의 책임은 신청기관에 있음 ⑥ 필요시 온·오프라인 추가서류 제출을 요청할 수 있으며 제출서류는 반환하지 않음
기 타	▪신청시 KIAT 과제관리시스템(www.k-pass.kr)의 우측 상단 이용매뉴얼 참조 * 시스템 관련 문의 : 한국산업기술진흥원 K-PASS 유지보수팀(02-6009-4321)

□ 제출 서류

No	제출서류	파일형태	필수여부	대상
1	연구개발계획서	HWP	필수	주관연구개발기관
2	연구개발기관 대표의 참여의사 확인서	PDF	필수	주관·공동연구개발기관
3	개인정보 및 과세정보 이용ㆍ제공 동의서	PDF	필수	주관·공동연구개발기관
4	연구윤리ㆍ청렴ㆍ인권 및 보안서약서	PDF	필수	주관·공동연구개발기관
5	현금ㆍ현물 납입확약서 (지방자치단체)	PDF	필수	지자체
6	현금ㆍ현물 납입확약서 (연구개발기관)	PDF	해당시	해당기관
7	신청자격 적정성 확인서	PDF	필수	주관·공동연구개발기관
8	전용공간 확보계획서	PDF	필수	해당기관
9	장비도입 심의요청서	HWP	해당시	해당기관
10	참여연구자 인건비 계상률 및 연구개발과제수 확인서	PDF	필수	주관·공동연구개발기관
11	법인등기부 등본(최근 3개월 이내), 사업자등록증 사본	PDF	필수	주관·공동연구개발기관
12	연구개발기관 책임자 재직증명서	PDF	필수	주관·공동연구개발기관
13	연구개발기관 최근연도 회계감사보고서 또는 재무제표	PDF	해당시	영리기관인 공동연구개발기관

* 제출서류 및 연구개발계획서가 허위이거나 거짓인 경우 관련 규정에 의거 사전 제외, 선정 취소 및 협약 해약 등 조치 가능

** 신청자(대표자, 연구책임자 등)는 채무불이행 등 신용조회에 동의한 것으로 간주함

□ 문의처

구분	연락처	문의 내용의 범위
한국산업기술진흥원 (산업공급망진흥실)	02-6009-3905 knpark90@kiat.or.kr	연구개발계획서 작성, 신청‧접수, 선정평가, 유의사항 등
한국산업기술진흥원 (K-PASS 유지보수팀)	02-6009-4321	온라인 서류접수, 시스템 관련 문의 등

Ⅵ	기타 유의사항

ㅇ 토지, 건물, 건축조성비는 정부지원연구개발비로 산정 불가

* 기관부담연구개발비 또는 그 외 기관·단체·개인이 지원하는 연구개발비의 현금(매입) 및 현물(임차 또는 기보유)로 산정

ㅇ 동 공고에 따른 과제를 통해 구축한 장비는 산업기술혁신촉진법 제19조(산업기술기반조성사업)에 따른 목적 달성을 위하여 구축된 장비이며, 산업기술개발장비 통합관리요령에 따라 ‘공동활용서비스장비*’로 규정됨

* 공동활용서비스장비 : 산촉법 제19조의 목적을 달성하기 위하여 구축한 장비로서, 연구개발기관의 장은 대내외에 개방하여 공동으로 사용하여야 하며 외부 이용자는 보유기관의 이용 승낙을 받아 사용할 수 있음 (산업기술개발장비 통합관리요령 제2조 제1항 제2호)

- 해당 장비는 성과활용기간 종료 전에 임의로 처분할 수 없으며 도입, 관리, 활용 및 처분 등에 관한 절차는 관련법령 및 규정을 따름

* 산업기술혁신사업 공통 운영요령 제35조(연구개발성과의 귀속 등), 산업기술혁신사업 기반조성 평가관리지침 제57조(장비의 도입, 관리 및 처분), 장비통합관리요령 제37조(처분결정 등)

- 해당 장비는 성과활용기간 종료후 ‘공동활용허용장비*’로 지정하여야 함

* 공동활용허용장비 : 공공의 목적으로 공동활용을 허용하는 장비(산업기술개발장비 통합관리요령 제2조 제1항 제4호)

ㅇ 장소 임대 등을 통해 특정기업 내 공간에 인프라를 구축할 경우, 장비 사유화 방지 및 국가연구시설·장비 공동활용 의무 준수를 위한 구체적인 운영 및 독립성 확보 방안을 연구개발계획서에 제출 필수

* 구축 공간은 타 기업의 접근 및 공동 활용에 제약이 없도록 물리적 독립성을 확보해야 하며, 관련 자료를 연구개발계획서 내 제출

* 구축 공간에는 주관연구개발기관 등 해당 기업 외 연구개발기관 소속의 전담인력이 상주하거나 상시 관리 필요

* 타 기업이 장비 사용료 납부 시, 정부지원에 따른 구축 장비에 대한 이용료는 반드시  주관연구개발기관 등 장비 소유기관의 수입금 계좌로 분리 입금되어야 함

* 해당시 상기 사항에 대해서는 연구개발과제평가단에서 적절성 등 검토

ㅇ 동 공고에 따른 과제를 통해 발생한 수익금에 대한 적립, 관리 및 활용에 대한 사항은 관련법령 및 규정을 따름

* 산업기술혁신사업 공통 운영요령 제30조의2(수입금 관리 및 사용기준), 산업기술혁신사업 기반조성 평가관리지침 제48조(수익금의 관리), 제49조(수익금의 사용 등), 산업기술개발장비 통합관리요령 제31조(장비이용료 관리)

ㅇ 3천만원(부가가치세 포함) 이상 장비를 구입하고자 하는 경우, 관련 규정*에 따라 장비심의 통과 후 조달청을 통한 중앙조달계약방식으로 구매(자체조달, 수의계약 불가)

* 산업기술개발장비 통합관리요령, 국가연구개발 시설‧장비의 관리 등에 관한 표준지침

** 산업기술개발장비 통합관리요령 관련 규정 개정시 변동 가능

ㅇ 본 사업은 실시간통합연구비관리(RCMS)적용 대상 사업임

ㅇ 참여연구자의 인건비계상률은 10% 이상이어야 함

* 관련근거 : 산업기술혁신사업 공통운영요령 제20조(사업의 신청) 제2항 제4호

ㅇ 안전관리형 과제*는 ‘연구실안전환경조성에관한법률’ 및 ‘산업안전보건법’등의 관련 규정에 따라 안전관리 이행계획이 포함된 안전관리 계획을 제출해야 함

* 연구개발 장소 및 외부환경의 안전 확보를 위해 재해유발 위험이 높거나 위험물질 취급하는 등 사람의 신체, 재산에 피해를 줄 가능성이 있어 과제의 연구개발기간 및 종료 후 일정기간 동안 특별한 점검 및 관리가 필요한 과제

ㅇ 과제의 연차별 성과, 진도점검·단계평가 등 평가결과, 연구개발비 집행 실적, 정부 예산사정 등에 따라 총 지원규모 및 연차별 예산 등은 계획 대비 조정될 수 있음

ㅇ 국외 수혜정보 보고 제도에 따라 선정된 연구책임자는 외국정부·기관·단체 등으로부터 행정적·재정적 지원을 받거나 노무 또는 자문 등을 제공하고 받는 대가에 관한 사항을 협약용 연구개발계획서 내 포함하여 제출하여야 함

ㅇ 연구개발계획서 등 제출서류에 허위기재 사실 발견 시 산업기술혁신촉진법 관련 규정에 의거 지원제외, 협약해약 및 제재 등의 조치 가능

ㅇ 기타 사항은「Ⅶ. 관련법령 및 규정」을 준수

Ⅶ	근거법령 및 규정

□ 근거법령

ㅇ 산업기술혁신촉진법 및 동법 시행령

ㅇ 국가연구개발혁신법 및 동법 시행령, 시행규칙

□ 근거규정

ㅇ 산업기술혁신사업 공통 운영요령

ㅇ 산업기술혁신사업 기반조성 평가관리지침

ㅇ 산업기술혁신사업 기술개발 평가관리지침

ㅇ 산업기술개발장비 통합관리요령

ㅇ 산업기술혁신사업 보안관리요령

ㅇ 산업기술혁신사업 연구윤리․진실성 확보 등에 관한 요령

ㅇ 국가연구개발사업 연구개발비 사용 기준

ㅇ 국가연구개발 시설‧장비의 관리 등에 관한 표준지침

ㅇ 기타 산업기술혁신사업 및 국가연구개발사업과 관련한 제반 법령 및 규정 등

※ 본 공고에 포함되지 않은 사항은 상기 관련 법령 및 규정에 따름